Федоров Петр Алексеевич
Сведения об авторе
Место работы
НИУ МИЭТ
Статьи автора
Федоров Петр Алексеевич, Федоров Алексей Роальдович
Формализация задачи непредвзятого 3D-рендеринга с целью повышения достоверности измерений критических размеров элементов микроэлектроники
Выпуск №13(31) ‘2019
