Формализация задачи непредвзятого 3D-рендеринга с целью повышения достоверности измерений критических размеров элементов микроэлектроники

20 мая 9:36

Авторы

Федоров Петр Алексеевич (НИУ МИЭТ)
Федоров Алексей Роальдович (НИУ МИЭТ)

Аннотация

Представлены результаты формализации задачи непредвзятого 3D-рендеринга с целью повышения достоверности измерений критических размеров элементов микроэлектроники. Дан краткий обзор методов непредвзятого 3D-рендеринга применимо к задаче методам измерений элементов микроэлектроники

Ключевые слова

3D-рендеринг, повышение достоверности измерений, АСК, алгоритмы

Дата публикации

14.12.2019

Финансирование

При получении
3D-изображения, или объемного изображения элемента изделия микроэлектроники
различают предвзятый и непредвзятый рендеринг. В первом случае необходимо
настраивать множество па